CVD多晶金刚石
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CVD多晶金刚石
CVD多晶金刚石是采用化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)技术制备的多晶金刚石材料,通常以微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)为核心方法。其制备原理是在真空或低压反应腔室内通入含碳气体(如甲烷)与氢气,通过微波等能量源激发产生等离子体,使碳原子在基板(如硅片、钼片、陶瓷等)表面沉积、迁移并排列,最终形成由无数微小金刚石晶粒紧密堆积而成的多晶金刚石...

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