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在 2 英寸多晶金刚石衬底上成功制造出GaN-HEMT有助于提高核心通信设备的容量并降低功耗

2026-05-12
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近年来,随着无线通信信息量的增加,人们需要更高频率和更高输出功率的器件,即GaN-HEMT。然而,工作期间的自热限制了器件的输出,导致通信性能和可靠性降低,例如信号无法传输。为了解决这些问题,大阪公大利用导热率极高的金刚石作为GaN-HEMT的衬底,成功地改善了散热特性。

Si(硅)和SiC(碳化硅)通常用作 GaN-HEMT 的衬底,但金刚石的热导率比Si高出约12倍,比SiC高出4-6倍,因此可以将热阻分别降低1/4、1/2

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迄今为止,由于多晶金刚石的晶粒尺寸大、表面粗糙度差(5~6 nm),因此很难在没有焊料或粘合材料的情况下直接键合GaN层。但这次,通过将金刚石衬底抛光技术(可将表面粗糙度降低到传统方法的一半)与GaN层从Si衬底转移到多晶金刚石的技术相结合,我们成功地将GaN层直接键合到了2 英寸多晶金刚石上。
这证明了GaN结构在多晶金刚石上的可行性及其散热特性的均匀性。

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